跨越“死亡谷”,济南架起中试之桥!
2026-09-24 10:49 大众新闻
在第三代半导体这条主赛道上,平台选择“强强联合”的打法。氮化镓晶体生长加工中试线联合晶镓半导体、创世威纳共建,历城区智能传感器产业园内1500平方米洁净区,安装布局9台套设备,覆盖从单晶生长到晶圆加工测试的全流程。目前可稳定量产2英寸氮化镓单晶衬底,4英寸N型、半绝缘氮化镓晶体已实现技术突破,处于国内领先、国际先进水平,目前正在研发5英寸产品。碳化硅芯片及封装中试线则牵手山东大学,可开展大尺寸6英寸、8英寸二极管的工艺研发、中试与小批量生产。
此外,平台还将山东产业技术研究院MEMS传感器芯片中试线纳入其中,通过追加设备投资完成中试线升级补齐,99台套设备覆盖光刻、刻蚀、薄膜、测试等九大功能区,年产能可达5000片晶圆,综合工艺水平位居国内公共中试平台第一梯队。
“我们不是简单的设备搬运工,而是要做产业资源的‘超级链接者’。”济南产发集团党委书记、董事长孟新介绍,与现有的中试平台不同,晶谷集成电路中试平台整合市属国有企业、新型研发机构及历城区各方资产资源,发挥产发集团资本与运营优势,通过“通用设备集中采购、专有设备自主投入、公司化合作运营”的共建模式,将原本分散在政府、院所、企业手中的碎片化资源,整合成了一个面向全社会开放的公共中试载体。
据介绍,该平台在筹建初期,已有企业订单进来。
人才支撑
把“概念”变成“样品”



