大众网记者 刘大帅 济南报道

　　11月3日，济南高新区“以赛引才 以才兴产”推动民营经济向新向优向好发展新闻发布会在济南高新区彩虹湖人才科技园人才书院举行。发布会通报近三年中国（济南）新动能创新创业大赛落地成效，并组织落地企业代表发布新产品、新进展，展现济南高新区以赛引才、以才兴产、以产聚企的生动实践。

　　济南市艾恩半导体科技有限公司专注芯片制造核心设备离子注入机的研发、设计、生产、销售与服务，产品已形成覆盖中束流、大束流、高能、特种等全谱系的离子注入装备矩阵。在发布会上，企业推出了全新自研的批靶大束流离子注入机Ai-200HC.D，该机器面向6至8英寸晶圆，支持一次同步注入17片6英寸晶圆。该机器瞄准高注入剂量、中等深度掺杂、高生产效率场景，能量控制波动误差不到千分之五，单片注入均匀性波动不超过1%。目前，企业中束流产品已在多家客户端验证并实现小批量生产，大束流产品正联合客户开展工艺验证，助力硅基成熟工艺自主可控。