大众网记者 张小璐 德州报道

　　截断、滚磨、切片……无尘车间内，合格硅单晶经过40余道工序，一件件刻蚀设备用硅材料部件成功下线。10月16日，山东有研刻蚀设备用硅材料项目通线量产，这是全省首条集成电路刻蚀设备用硅材料生产线，在填补省内技术空白的同时，还将在完善新一代信息技术产业链上迈出关键一步。

　　据悉，项目总投资3.57亿元，主要生产大尺寸单晶硅部件加工品，全部达产后年新增硅材料204吨。“刻蚀设备用硅材料部件主要包括硅环和硅电极，是晶圆制造刻蚀环节所需的核心耗材，主要用于生产8至12英寸等离子刻蚀机，在刻蚀机上起到重要支撑作用。”山东有研艾斯半导体材料有限公司总经理闫志瑞介绍。

　　作为国内最早开展硅片产业化的企业，此前，有研集团一直生产刻蚀设备用硅部件半成品，来到德州后，开始布局全产业链成品制作。从2021年底谋划至今，经历了漫长的科研攻关道路，其间每次实验都要精益求精，每个环节都要环环相扣，才能保证量产后的产品性能高。“要保证产品杂质越少、微缺陷越少，要克服电阻率、金属含量等诸多关键性能指标。”在闫志瑞看来，最难的是直拉硅单晶制备过程，需要保证工艺稳定性、质量参数的一致性。