PVT单晶生长设备、HVPE单晶生长设备、碳化硅高温氧化设备……11年，11款产品。经过10多年的发展，山东力冠微电子装备有限公司已成为一家集研发、生产、销售为一体的半导体材料工艺装备制造商。

　　“我们靠技术赢得市场，目前产品远销东南亚、欧美。计划三年之内，我们公司的销售总额能突破10亿元。”山东力冠微电子董事长孙军伟介绍。

　　从公司设立之初的几个人到如今近200人，企业快速成长的秘诀在科技创新。“这些年来我们的研发投入占销售收入比重始终保持在30％—50％之间，目前我们的研发队伍50多人。”孙军伟说。

　　山东力冠微电子常年与国内知名半导体企业、科研院校等保持密切合作，企业产品涵盖第一代至第四代半导体材料工艺装备，拥有自主知识产权，广泛应用于集成电路、功率半导体、化合物半导体、5G芯片、光通信、MEMS等新型电子器件制造领域。

　　“目前我们有5款硅基半导体设备，6款化合晶体设备。其中，我们的化合晶体设备的技术水平位居全国前列。我们的梦想就是为半导体装备产业做出国产可替代产品。”孙军伟说。