但这个“地基”并不简单，半导体衬底材料是具有特定晶面和适当电学、光学和机械特性的用于生长外延层的洁净单晶薄片，起着物理支撑、导热及导电等重要作用。

　　“以磷化铟为例，过去，国内主流制备方法面临生长工艺难度大、位错密度高、易产生孪晶等问题，产品主要依赖进口。但我们创新并优化了晶体生长工艺，成功制备出品质更高、稳定性更强的磷化铟单晶，稳定的生产技术填补了国内技术空白。”肖燕青表示。

　　据了解，华芯晶电对蓝宝石衬底的技术掌握和产业化程度已相当成熟，目前已突破大公斤级蓝宝石晶体生长技术，成为国内芯片制造上游蓝宝石衬底材料主力供应商，产品进入多个行业下游供应链中。

　　2021年，华芯晶电启动了第四代半导体化合物氧化镓单晶衬底的研发，在氧化镓晶体生长、晶体低密度缺陷控制、高效元素掺杂等方面进行了攻关。目前，通过关键技术的攻关提升晶体及衬底质量，达到了国际水平，已完成产品小试并逐步实现产品产业化及应用推广。