由中国化工学会组织的“半导体先进制程用超高纯电子级氢氟酸关键技术与应用”项目成果评价会也在滨化集团举行。专家组一致认为，该项目关键技术及产品指标达到国际先进水平。

　　超高纯电子级氢氟酸项目是山东省重点研发计划（重大科技创新工程）项目，由滨化集团联合天津大学共同完成。项目团队成功攻克氢氟酸纯化、高效吸附及清洗充装关键装备等技术瓶颈，实现连续化、规模化、稳定化生产。产品指标优于SEMI-G5级，已顺利导入14纳米先进制程半导体终端客户，品质和稳定性获得行业头部企业认可。项目首创电子级氟化氢反应-精馏耦合提纯新工艺，开发新型填料结构与电子化学品包装桶全自动浸没式旋转气泡清洗装置，构建全过程质量闭环管控体系，形成具有自主知识产权的工业化生产工艺体系。

　　此次高纯氟化氢气体投产，进一步完善了我国半导体先进制程关键材料的自主供应能力；超高纯电子级氢氟酸通过国际先进水平评价，为国产化规模推广提供了工程化示范支撑，对保障我国集成电路产业链供应链安全稳定具有深远的战略意义。

　　（大众新闻记者 王凯 通讯员 侯方辉）