据介绍，艾恩半导体项目总投资3亿元，年产能达30台，其价格降至进口同类装备的1/2，但仍高达1500万元/台。一台离子注入机由近2万个零部件构成，得益于山东省的产业配套优势，艾恩半导体超过50%的零部件能省内完成采购和加工，显著降低供应链风险。到今年年底，艾恩半导体将交付4台设备，预计产生销售收入5000多万元。

　　眼前，钟新华与同事正在攻关第二代碳化硅离子注入机，预计9月面世，这将是首款国产替代产品。未来三至五年内，艾恩半导体将进一步整合产业链技术和资源，努力成为国内重要的离子注入机装备供应商，产品性能达到国际水平。

　　聚能起势 多元布局加速起势

　　同样坐落于齐鲁软件园的，还有山东高云半导体科技有限公司（以下简称“高云半导体”）。高云半导体成立于 2014 年3月，是一家致力于可编程逻辑芯片（FPGA）产品国产化，是提供集设计、软件、IP核、参考设计、开发板、定制服务等一体化完整解决方案的国家高新技术企业。高云半导体目前已经完成了55nm和22nm工艺FPGA产品的研发和量产。2021年初两款产品成功通过车规认证，是国内首家实现车规芯片量产的国产FPGA厂商，产品已经成功应用于通信、工业、汽车电子、消费电子等领域，并初步出口至美国、韩国、日本等多个国家和地区。