大众网记者 刘大帅 济南报道

　　半导体技术是人工智能、物联网和量子计算等数字产业发展的基础，对经济增长、技术进步起到显著的带动效应。打造“芯”高地、布局“芯”未来。近年来，济南高新区以第三代半导体材料为突破口，依托“产、学、研”协同生态，形成了从核心材料、高端装备到芯片设计的全链条布局，半导体产业乘势“起飞”。

　　破局“芯”路 攻关关键核心技术

　　半导体设备包括光刻机、刻蚀机、薄膜沉淀设备、涂胶显影设备、离子注入机等，这些设备的性能直接影响芯片的制造精度和质量。在这其中，离子注入机主要在半导体制造过程中，将硼、磷、砷等元素植入到硅晶原材料上，从而改变半导体材料的电学性能，其设备难度仅次于光刻机。

　　今年6月底，济南市艾恩半导体科技有限公司首款自主研发的硅基中束流离子注入机成功下线，这一突破为济南集成电路产业补链强链再添关键一环。

　　艾恩(山东)半导体科技有限公司成立于2023年11月，注册资本3500万元，是广州市艾恩半导体科技有限公司的全资子公司。回想从前期融资到决心来济南扎根发展的过程，艾恩半导体创始人钟新华感慨万千。“半导体装备制造这个圈子很小，团队同事来自天南海北，济南这边的园区环境、行业氛围都不错。”钟新华说。